Оптоэлектронные свойства углеродных пленок, полученных методом осаждения в плазме СН4 и последующей термообработкой Optoelectronic properties of carbon films obtained by deposition in CH4 plasma and subsequent heat treatment

Оптоэлектронные свойства углеродных пленок, полученных методом осаждения в плазме СН4 и последующей термообработкой
Optoelectronic properties of carbon films obtained by deposition in CH4 plasma and subsequent heat treatment

Авторы

Неустроев Ефим Петрович, Прокопьев Айсен Русланович

Заглавие

Тип/вид публикации

Статья в журнале

Язык публикации

Русский

УДК

533.924; 538.911

DOI

10.25587/k1396-1824-9367-e

Ключевые слова

плазма метана; термообработка; синтез углеродных пленок; фототок

Рубрикатор ГРНТИ

Физика

Источник

Вестник Северо-Восточного федерального университета им. М. К. Аммосова. – 2021. – N 1 (81)

Библиографическая запись

Неустроев, Е. П. Оптоэлектронные свойства углеродных пленок, полученных методом осаждения в плазме СН4 и последующей термообработкой / Е. П. Неустроев, А. Р. Прокопьев // Вестник Северо-Восточного федерального университета им. М. К. Аммосова. – 2021. – N 1 (81). – С. 34-42.
DOI: 10.25587/k1396-1824-9367-e

Включен в подборки

Чтение документа возможно в помещении библиотеки

Вам будет интересно